真空計如何分類(真空計的作用)
文章出處：華仁儀表 發(fā)表時間：2021-09-27 10:27
真空計（Vacuum Gauge）,又稱規(guī)，是測量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應(yīng)的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能，利用氣體動力學和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體力學效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和電熱偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
1、波爾登規(guī)（Bourdon）
2、薄膜電容規(guī)
3、皮拉尼規(guī)
4、熱電偶規(guī)
5、熱陰極電離規(guī)
6、冷陰極電離規(guī)
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